制氮機為晶圓制造廠(chǎng)供應各種超高純度氣體，上海制氮機廠(chǎng)家2020年其為積塔半導體建造的一臺制氮機在上海開(kāi)機成功，上海制氮機廠(chǎng)家與積塔半導體簽訂了一份為期20年的超高純工業(yè)用氣供應合約，目前開(kāi)機運行的為計劃建造的兩臺高純制氮機中的第一臺，第二臺預計將于2022年上線(xiàn)啟用。

　　制氮機位于上海臨港產(chǎn)業(yè)區，其安裝和運行工作由上海制氮機廠(chǎng)家過(guò)程與裝備研究所負責。該制氮機將為積塔半導體造價(jià)高達51億美元的晶圓制造廠(chǎng)供應各種超高純度氣體（如氮氣、氧氣、氬氣、二氧化碳）以及壓縮干空氣（CDA）。

　　賈工表示：“中國半導體行業(yè)的發(fā)展水平和產(chǎn)能將持續增長(cháng)。我們在中國擁有分布密集的業(yè)務(wù)網(wǎng)絡(luò )，有助于我們獲得長(cháng)期且可持續性的項目，進(jìn)一步奠定在電子行業(yè)的領(lǐng)導地位。長(cháng)久以來(lái)，上海制氮機廠(chǎng)家在工業(yè)用氣供應方面擁有安全可靠的良好記錄，對此我們深感自豪，同時(shí)我們也倍感榮幸，有機會(huì )為積塔半導體的發(fā)展出自己的一份力?！?/p>

　　上海制氮機廠(chǎng)家變壓吸附制備氮氣的裝置取得了國家發(fā)明專(zhuān)利，屬于擁有自主知識產(chǎn)權保護的專(zhuān)利技術(shù)產(chǎn)品。制氮機技術(shù)曾先后榮獲部級中國船舶總公司優(yōu)秀發(fā)明二等獎；浙江省新產(chǎn)品金龍獎；上海華誼集團科技成果大獎賽三等獎；上海市企業(yè)創(chuàng )新二等獎；上海市優(yōu)秀發(fā)明二等獎。